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    RLS系列射频发生器

    • 采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单
    • 进线具有APFC???,提高输入侧功率因数,降低谐波
    • 具备CEX相位同步功能
    • 3个可编程模拟量输出

    RLS系列射频发生器

    适用领域

    光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等。

    适用工艺

    等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等。

    产品特点:

    l  机架式安装方式

    l  采用全数字控制,具有便捷和丰富的操作菜单

    l  进线具有APFC???,提高输入侧功率因数,降低谐波

    l  稳定可靠的功放和直流控制???/span>

    l  驻波1.5时仍能输出额定功率

    l  具有多种通讯接口可选,通过通讯接口,可完全对电源进行操作

    l  高亮LCD显示,操作直观

    l  具备CEX相位同步功能

    l  3个可编程模拟量输出

    l完善?;すδ?/span>

          


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