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    RMA系列自动匹配器

    • 全数字控制,匹配精度高,匹配时间短
    • 超宽匹配范围,可定制适配任意负载
    • 具有手动/自动匹配功能
    • 具有保持和预置设定功能

    RMA系列自动匹配器

    适用领域:

        可适配于RLS系列射频电源使用,广泛应用于等离子刻蚀、镀膜、等离子清洗、等离子去胶等工艺。单独使用时,可与其他厂家射频电源配套使用。

    产品特点:

    l  全数字控制,匹配精度高,匹配时间短

    l  采用真空电容,可靠性高,使用寿命长

    l  结构紧凑,体积小,安装便捷

    l  超宽匹配范围,可定制适配任意负载

    l  具有手动/自动匹配功能

    l  具有保持和预置设定功能

    l  具有通讯功能,可独立连接上位机实时显示负载状态

    l  可定制化输出接口

     


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